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第706章

“陆工,您的磁流体复合轴承,是骨骼。”

她在透镜组下面,画了一个稳定而坚固的平台。

“陈默,你的光刻胶,是血肉。”

她在平台上方,画了一片薄薄的涂层。

“灵魂、骨骼、血肉,缺一不可。你们争论的不是谁对谁错,而是如何让三者完美地融为一体。”

她的粉笔在黑板上飞舞,将三个人的设计图用一种所有人都没想过的方式,重新组合了起来。

“方老,陆工的磁场问题,我们可以通过设计一个μ金属屏蔽罩来解决。同时,您的物镜组最后一级,可以不采用胶合,而是采用空气隙设计,这样可以减少应力,并且方便我们加入偏振校正镜片。”

“陆工,方老对光路的要求是刚性的。所以,您的磁悬浮平台可以不变,但承载硅片的晶圆台,我们必须增加一套基于压电陶瓷的微动位移系统,用它来主动补偿剩余的微震动。”

“陈默,你的光刻胶波长要求,给了我们一个明确的目标。我们会以此为基准,去寻找最合适的高压汞灯光源,并请方老重新计算镀膜参数。”

“一个系统,需要一个总设计师。”

“我的工作,就是让你们每一个人的天才想法,都能在这个系统里,发挥出最大的价值。”

黑板上,一幅全新的,融合了三大怪才所有智慧,又超越了他们各自局限的“燎ro原”光刻机设计草图,赫然出现。

整个会议室,鸦雀无声。

方为民、陈默、陆正阳,这三个桀骜不驯的天才,看着黑板上那幅近乎完美的图纸,看着那个站在图纸前,眼神平静而深邃的女人。

他们第一次,感到了由衷的,无法喻的敬畏。

这个人,她不仅懂他们每一个人,她还站在一个更高维度,看到了他们所有人都没看到的,完整的未来。

从这一刻起,“731”小组,有了真正的灵魂。

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