我们完全可以把这项技术中有价值的给拆出来，用在我们的光刻机路线上。”

陈磊的话，让在座的其他专家一下就打起了精神。

“这几天我一直在复盘佳能那台fpa-1200nz2c的每一个细节。

它的核心那个纳米压印的‘模头’，以及配套的uv固化系统，对我们来说是毒苹果，因为它和我们的duv体系不兼容，而且捆绑了材料陷阱，我们后续如果林总给不出解决办法，那么我认为我们必须坚决地把它

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